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www.opticsky.cn EUV光刻光源收集鏡制造與量測取得重要進展 網站詳細信息
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標題: EUV光刻光源收集鏡制造與量測取得重要進展
網址: www.opticsky.cn/index-htm-m-cms-q-view-id-9281.html
日期: 2025-04-12
標簽: 科技動態
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描述: 本文對收集鏡光柵變形結構提出一種快速無損的測量方法，以應對其極端制造要求。
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其它: 中國科大實現毫秒級可集成量子存儲器
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